Етилсиликатът (TEOS) се използва като суровина, използвана в отлагането на полупроводникови технологии, може да се използва за химическо отлагане на пари при ниско налягане (LPCVD) повърхността на силициевия диоксид в отлаганията на SiC вафли, осигурява плътността на средата на оксидния слой и способността за адхезия на SiC вафли, подобряване на работата на устройството и добива и избягване, за да се получи определена дебелина на оксидния слой на недостатъците на дългото окисление при висока температура.
TEOS се получава чрез естерификация на силициев тетрахлорид и етанол при нормална температура и налягане.
TEOS, получен чрез адсорбция, дестилация и филтрация. Джинхонг постигна стратегическо сътрудничество с големи полупроводникови компании и може да доставя повече от 1,200 тона електронен клас TEOS всяка година.
Продукт | TEOS |
CAS № | 78-10-4 |
Чистота | ≥ 99.9% |
TEOS може да се използва за химическо отлагане на пари при ниско налягане (LPCVD) на повърхността на силициевия диоксид в отлаганията на SiC вафли.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Всички права запазени. - Политика за поверителност|Правила и условия|Блог