Хексафлуороетан

Хексафлуороетанът е безцветен, запалим газ, който е неразтворим във вода, но разтворим в етанол. Точката на кипене е -78.2°C, точката на топене е -100.6°C, а критичната температура е 19.7°C. Хексафлуороетанът обикновено се използва за газ за плазмено ецване в микроелектронната индустрия, както и за почистване на повърхности на устройства, производство на оптични влакна и нискотемпературно охлаждане.