Химическата формула на азотния трифлуорид е NFXNUMX. Това е газ без цвят, мирис и стабилен при нормална температура. Той е силен окислител. Азотният трифлуорид с висока чистота има отлична скорост на ецване и селективност и също така е много добър почистващ агент. Jinhong може да ви предостави газ азотен трифлуорид с висока чистота, за да подобрите вашия полупроводников процес.
Азот трифлуорид се получава чрез директно флуориране на амоняк. Може да се получи и чрез електролиза на разтопен амониев бифлуорид или чрез директно комбиниране на елементите азот и флуор, като се използва електрически разряд при ниски температури.
Gas | Азотен трифлуорид |
CAS № | 7783-54-2 |
Чистота | 99.99% |
Азотният трифлуорид се използва като високоскоростен селективен ецващ агент при обработката на силиций. Използван е за ецване на силиций, полисилиций, силициев нитрид и силициев оксид, както и за огнеупорни метали и силициди.
Азотният трифлуорид понякога се използва като източник на флуор в HF/DF химическите лазери. Азотният трифлуорид се използва като флуориращ агент. Азотният трифлуорид се използва и за обработка на влакна.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Всички права запазени. - Политика за поверителност|Правила и условия|Блог